微量氣體流量計是為測量超小流量氣體專門設(shè)計
氣體計量在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)過程中占有重要地位,一方面,新工藝和新技術(shù)等制約其發(fā)展的關(guān)鍵領(lǐng)域的突破,尤其是微電子技術(shù)的迅速發(fā)展,使微量氣體計量由機械式向智能化、模塊化方向發(fā)展,其應(yīng)用范圍得到了很大的擴展;另一方面,隨著環(huán)境監(jiān)測、航空航天等應(yīng)用領(lǐng)域?qū)怏w計量準確度要求的不斷提高,對氣體計量可靠校準和溯源的研究越來越受到重視。微量氣體流量計對微量氣體的體積或質(zhì)量進行準確的測量是非常有意義的,在很多方面都有著廣泛的需求。比如化學催化產(chǎn)氫研究,需要準確測量氫氣的體積;微生物厭氧發(fā)酵產(chǎn)氫或產(chǎn)...